Biegelsen, David K.;
Berlin, Andrew A.;
Cheung, Patrick;
Fromherz, Markus P.;
Goldberg, David;
Jackson, Warren B.;
Preas, Bryan;
Reich, James;
Swartz, Lars E.
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Medientyp:
Elektronischer Konferenzbericht
Titel:
AirJet paper mover: an example of mesoscale MEMS
Beteiligte:
Biegelsen, David K.;
Berlin, Andrew A.;
Cheung, Patrick;
Fromherz, Markus P.;
Goldberg, David;
Jackson, Warren B.;
Preas, Bryan;
Reich, James;
Swartz, Lars E.
Erschienen:
SPIE, 2000
Erschienen in:Micromachined Devices and Components VI