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Medientyp: E-Artikel Titel: Fabrication of x-ray masks on a thick substrate for deep x-ray lithography Beteiligte: Petrova, E. V.; Gol’denberg, B. G.; Kondrat’ev, V. I.; Mezentseva, L. A.; Pindyurin, V. F.; Gentselev, A. N.; Eliseev, V. S.; Lyakh, V. V. Erschienen: Pleiades Publishing Ltd, 2007 Erschienen in: Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques Sprache: Englisch DOI: 10.1134/s1027451007030147 ISSN: 1027-4510; 1819-7094 Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films Entstehung: Anmerkungen: