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Medientyp: E-Artikel Titel: Wavefront aberration compensation of projection lens using clocking lens elements Beteiligte: Liu, ChunLai; Huang, Wei; Shi, Zhenguang; Xu, Weicai Erschienen: The Optical Society, 2013 Erschienen in: Applied Optics, 52 (2013) 22, Seite 5398 Sprache: Englisch DOI: 10.1364/ao.52.005398 ISSN: 1559-128X; 2155-3165 Schlagwörter: Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Engineering (miscellaneous) ; Electrical and Electronic Engineering Entstehung: Anmerkungen: