• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Modeling latent-image formation in photolithography, using the Helmholtz equation
  • Beteiligte: Urbach, H. Paul; Bernard, Douglas A.
  • Erschienen: Optica Publishing Group, 1989
  • Erschienen in: Journal of the Optical Society of America A
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1364/josaa.6.001343
  • ISSN: 1520-8532; 1084-7529
  • Schlagwörter: Computer Vision and Pattern Recognition ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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