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Medientyp: E-Artikel Titel: Modeling latent-image formation in photolithography, using the Helmholtz equation Beteiligte: Urbach, H. Paul; Bernard, Douglas A. Erschienen: Optica Publishing Group, 1989 Erschienen in: Journal of the Optical Society of America A Sprache: Englisch DOI: 10.1364/josaa.6.001343 ISSN: 1520-8532; 1084-7529 Schlagwörter: Computer Vision and Pattern Recognition ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: