> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Thin-film interference effects in photolithography for finite numerical apertures Beteiligte: Bernard, Douglas A.; Urbach, H. Paul Erschienen: Optica Publishing Group, 1991 Erschienen in: Journal of the Optical Society of America A Sprache: Englisch DOI: 10.1364/josaa.8.000123 ISSN: 1084-7529; 1520-8532 Schlagwörter: Computer Vision and Pattern Recognition ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: