• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Thin-film interference effects in photolithography for finite numerical apertures
  • Beteiligte: Bernard, Douglas A.; Urbach, H. Paul
  • Erschienen: Optica Publishing Group, 1991
  • Erschienen in: Journal of the Optical Society of America A
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1364/josaa.8.000123
  • ISSN: 1084-7529; 1520-8532
  • Schlagwörter: Computer Vision and Pattern Recognition ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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