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Medientyp: E-Artikel Titel: High performance EUV multilayer structures insensitive to capping layer optical parameters Beteiligte: Pelizzo, Maria Guglielmina; Suman, Michele; Monaco, Gianni; Nicolosi, Piergiorgio; Windt, David L. Erschienen: Optica Publishing Group, 2008 Erschienen in: Optics Express Sprache: Englisch DOI: 10.1364/oe.16.015228 ISSN: 1094-4087 Schlagwörter: Atomic and Molecular Physics, and Optics Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang