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Medientyp: E-Artikel Titel: Nanoparticles as a Metal Source in Plasma Processes Beteiligte: Flege, Stefan; Hatada, Ruriko; Jantsen, Gennadi; Walbert, Torsten; Ensinger, Wolfgang; Baba, Koumei; Morimura, Takao; Muench, Falk Erschienen: The Materials Research Society of Japan, 2017 Erschienen in: Transactions of the Materials Research Society of Japan Sprache: Englisch DOI: 10.14723/tmrsj.42.31 ISSN: 1382-3469; 2188-1650 Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang