Beschreibung:
<jats:title>Zusammenfassung</jats:title>
<jats:p>In der vorliegenden Arbeit werden Aufbau und Entwicklung eines neuen
Messsystems zur Kalorimetrie an dünnen Schichten für den
Temperaturbereich bis ca. 1000 ℃ vorgestellt. Im
Folgenden werden das Messverfahren, die
Hochtemperatur-Dünnschichtkalorimetrie (Thin-Film Calorimetry,
TFC), sowie ein Modell zur Datenauswertung beschrieben. Die zentrale
Komponente des Messsystems bilden hochtemperaturstabile
piezoelektrische Resonatoren aus Langasit-Einkristallen (LGS,
La<jats:sub>3</jats:sub>Ga<jats:sub>5</jats:sub>SiO<jats:sub>14</jats:sub>), die als planare Temperatursensoren
betrieben werden. Auf diese werden die zu untersuchenden
Aktivschichten abgeschieden. Zur Bestimmung der auf den
Temperatursensoren aufgetragenen Schichtmasse wird der
piezoelektrische Sensor aus Langasit selbst als Mikrowaage
betrieben. Temperaturänderungen durch Wärmeabgabe oder
-aufnahme, wie sie durch Phasenumwandlungen in den zu untersuchenden
Schichten verursacht werden, beeinflussen die Resonanzfrequenz des
Resonators. Gegenwärtig können auf diese Weise kleine
Wärmemengen ab 1,2 mJ detektiert werden. Die detektierten
Temperaturänderungen werden in Enthalpien umgerechnet.</jats:p>