Beschreibung:
<jats:title>Zusammenfassung</jats:title>
<jats:p>Dieser Beitrag zeigt ein Konzept für eine fünfachsige Nano-Koordinatenmessmaschine zur Messung auf stark gekrümmten asphärischen und frei geformten optischen Oberflächen in einem Messvolumen von <jats:inline-formula id="j_teme-2020-0092_ineq_001_w2aab3b7d884b1b6b1aab1c15b1b1Aa">
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</jats:inline-formula> mit einem maximal möglichen Neigungswinkel von bis zu 60° zur Hochachse und einer maximalen Rotation von 360° um die Hochachse. Dabei wird die Probe translatorisch bewegt und der Sensor in seiner Orientierung verändert. Unter Einhaltung des Abbe-Komparatorprinzips für alle Messachsen wird die Bewegungsabweichung des Sensors bei der Rotation durch ein in-situ-Referenzmesssystem erfasst. Dieses besteht aus drei kartesisch angeordneten Fabry-Pérot-Interferometern mit dem Ursprung im Antastpunktes des Sensors, die den Abstand zu einer hemisphärischen Referenzfläche messen. Die Messunsicherheitsbetrachtung des Gesamtsystems erfolgt nach dem <jats:italic>guide to the expression of uncertainty in measurement</jats:italic> in einem vektoriellen Ansatz und liefert unter konservativen Annahmen eine Unsicherheit des Antastpunktes von maximal 72 nm (<jats:inline-formula id="j_teme-2020-0092_ineq_002_w2aab3b7d884b1b6b1aab1c15b1b5Aa">
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