Beschreibung:
<jats:p>Auf Basis des Konzepts integrierter Mehrkoordinatenantriebe werden Nanopositioniersysteme für große Verfahrbereiche entwickelt. Dabei ist die Umsetzung einer hochpräzisen Abbe-Fehler-freien Positionsmessung eine wesentliche Voraussetzung. Durch gezielte Untersuchungen der Funktionsgruppen für Antrieb und Führung werden Störquellen und genauigkeitsbegrenzende Faktoren identifiziert und so die kritischen Stellen für eine Reduzierung der Positionierunsicherheit lokalisiert.</jats:p>