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Medientyp: E-Artikel Titel: Microwave discharge-pumped excimer lamp Beteiligte: KUMAGAI, Hiroshi; OBARA, Minoru Erschienen: Laser Society of Japan, 1990 Erschienen in: The Review of Laser Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.2184/lsj.18.7_456 ISSN: 0387-0200; 1349-6603 Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang