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Medientyp: E-Artikel Titel: Evolution of Secondary Electrons Emission During EUV Exposure in Photoresists Beteiligte: Fallica, Roberto; Nannarone, Stefano; Mahne, Nicola; Malvezzi, Andrea Marco; Berti, Andrea; Simone, Danilo De Erschienen: Technical Association of Photopolymers, Japan, 2021 Erschienen in: Journal of Photopolymer Science and Technology Sprache: Englisch DOI: 10.2494/photopolymer.34.99 ISSN: 0914-9244; 1349-6336 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Organic Chemistry ; Polymers and Plastics Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang