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Medientyp: E-Artikel Titel: Specimen Contamination Induced by Micro Electron Probe in Analytical Electron Microscope Beteiligte: YOSHIMURA, Nagamitsu; HIRANO, Haruo; ETOH, Terukazu Erschienen: The Vacuum Society of Japan, 1981 Erschienen in: SHINKU Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.3131/jvsj.24.202 ISSN: 0559-8516; 1880-9413 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang