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Medientyp:
E-Artikel
Titel:
Editorial for the Special Issue on Gas Flows in Microsystems
Beteiligte:
Colin, Stéphane;
Baldas, Lucien
Erschienen:
MDPI AG, 2019
Erschienen in:
Micromachines, 10 (2019) 8, Seite 494
Sprache:
Englisch
DOI:
10.3390/mi10080494
ISSN:
2072-666X
Entstehung:
Anmerkungen:
Beschreibung:
The last two decades have witnessed a rapid development of microelectromechanical systems (MEMS) involving gas microflows in various technical fields [...]