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Medientyp: E-Artikel Titel: Materials Science Forum: Electrical Properties of Aluminium Oxide Films Grown by Atomic Layer Deposition on n-Type 4H-SiC Beteiligte: Avice, Marc; Grossner, Ulrike; Monakhov, Edouard V.; Grillenberger, Joachim; Nilsen, Ola; Fjellvåg, Helmer; Svensson, B.G. Erschienen: Trans Tech Publications Ltd., 2005 Erschienen in: Materials Science Forum Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.4028/0-87849-963-6.705 ISSN: 0255-5476 Entstehung: Anmerkungen: