• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Solid State Phenomena: µ-Raman Investigations on Hydrogen Gettering in Hydrogen Implanted and Hydrogen Plasma Treated Czochralski Silicon
  • Beteiligte: Düngen, Wolfgang; Job, Reinhart; Ma, Yue; Huang, Yue Long; Fahrner, Wolfgang R.; Keller, L.O.; Horstmann, J.T.
  • Erschienen: Trans Tech Publications Ltd., 2005
  • Erschienen in: Solid State Phenomena (2005), Seite 91-96
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.4028/3-908451-13-2.91
  • ISSN: 1012-0394
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