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Medientyp: E-Artikel Titel: Electrical Characterization of Buried Layers in Silicon Beteiligte: Fahrner, Wolfgang R.; Klausmann, E. Erschienen: Trans Tech Publications, Ltd., 1991 Erschienen in: Solid State Phenomena, 1-2 (1991), Seite 85-114 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.4028/www.scientific.net/ssp.1-2.85 ISSN: 1662-9779 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; General Materials Science ; Atomic and Molecular Physics, and Optics Entstehung: Anmerkungen: