• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Oxygen Gettering on Buried Layers at Post-Implantation Annealing of Hydrogen Implanted Czochralski Silicon
  • Beteiligte: Job, Reinhart; Fahrner, Wolfgang R.; Ulyashin, Alexander G.; Bumay, Yu.A.; Ivanov, A.I.; Palmetshofer, L.
  • Erschienen: Trans Tech Publications, Ltd., 1997
  • Erschienen in: Solid State Phenomena
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.4028/www.scientific.net/ssp.57-58.91
  • ISSN: 1662-9779
  • Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; General Materials Science ; Atomic and Molecular Physics, and Optics
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