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Medientyp: E-Artikel Titel: Oxygen Gettering on Buried Layers at Post-Implantation Annealing of Hydrogen Implanted Czochralski Silicon Beteiligte: Job, Reinhart; Fahrner, Wolfgang R.; Ulyashin, Alexander G.; Bumay, Yu.A.; Ivanov, A.I.; Palmetshofer, L. Erschienen: Trans Tech Publications, Ltd., 1997 Erschienen in: Solid State Phenomena Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.4028/www.scientific.net/ssp.57-58.91 ISSN: 1662-9779 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; General Materials Science ; Atomic and Molecular Physics, and Optics Entstehung: Anmerkungen: