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Medientyp: E-Artikel Titel: Characterization of a Remote Inductively Coupled Plasma System Beteiligte: Kim, Yeong-Uk; Yang, Won-Kyun; Joo, Jung-Hoon Erschienen: The Korean Institute of Surface Engineering, 2008 Erschienen in: Journal of the Korean institute of surface engineering Sprache: Englisch DOI: 10.5695/jkise.2008.41.4.134 ISSN: 1225-8024 Schlagwörter: General Medicine Entstehung: Anmerkungen: