> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: High-Temperature Annealing by Subatmospheric-Pressure Radio-Frequency Capacitively Coupled Plasma Beteiligte: Miyake, Masatoshi; Yokogawa, Ken'etsu Erschienen: IOP Publishing, 2012 Erschienen in: Japanese Journal of Applied Physics, 51 (2012) 8S1, Seite 08HB03 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.7567/jjap.51.08hb03 ISSN: 0021-4922; 1347-4065 Schlagwörter: General Physics and Astronomy ; Physics and Astronomy (miscellaneous) ; General Engineering Entstehung: Anmerkungen: