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Medientyp: E-Book; Konferenzbericht Titel: Laser-Based Micro- and Nanoprocessing X : 16-18 February 2016, San Francisco, California, United States Beteiligte: Klotzbach, Udo [HerausgeberIn]; Washio, Kunihiko [HerausgeberIn]; Arnold, Craig B. [HerausgeberIn] Körperschaft: SPIE Erschienen: Bellingham, Washington: SPIE, [2016] Erschienen in: SPIE: Proceedings of SPIE ; 9736 Umfang: 1 Online-Ressource; Illustrationen Sprache: Englisch Schlagwörter: Konferenzschrift Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben Teilkonferenz von: SPIE Photonics West (innerhalb der Teil-Konferenz: SPIE LASE)