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  1. Friedrich-Schiller-Universität Jena Arbeitsgemeinschaft Technikum, Frühjahrsschule Elektronenlithografie 1981 Meuselbach-Schwarzmühle

    Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"

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    Jena: Abt. Wiss. Publ. d. Friedrich-Schiller-Univ., 1982

    Erschienen in: Friedrich-Schiller-Universität Jena: Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena ; 1982,einf