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May, Gary S. [VerfasserIn]; Sze, Simon M. [VerfasserIn]; Sze, S. M. [VerfasserIn]

Fundamentals of semiconductor fabrication

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New York; Chichester: Wiley, 2004
Campbell, Stephen A. [VerfasserIn]

The science and engineering of microelectronic fabrication - [2. ed.]

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New York; Oxford: Oxford Univ. Press, 2001

Erschienen in: The Oxford series in electrical and computer engineering
Münch, Waldemar von [VerfasserIn]

Einführung in die Halbleitertechnologie : mit 39 Tafeln

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Stuttgart: Teubner, 1993
Campbell, Stephen A. [VerfasserIn]

The science and engineering of microelectronic fabrication

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New York; Oxford: Oxford University Press, 1996

Erschienen in: The Oxford series in electrical engineering
Geng, Hwaiyu [VerfasserIn]

Semiconductor manufacturing handbook : [wafer processing technologies ; nanotechnology and MEMs ; fab yield, operations, and facilities]

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New York, NY [u.a.]: McGraw-Hill, 2005

Erschienen in: McGraw-Hill handbooks
Campbell, Stephen A. [VerfasserIn]

Fabrication engineering at the micro- and nanoscale - [4. ed.]

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New York [u.a.]: Oxford Univ. Press, 2013

Erschienen in: Oxford series in electrical and computer engineering
Nishi, Yoshio [HerausgeberIn]

Handbook of semiconductor manufacturing technology

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New York; Basel: Dekker, 2000
Frey, Hartmut [VerfasserIn]

Ionenstrahlgestützte Halbleitertechnologie

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1992
Hilleringmann, Ulrich [VerfasserIn]

Silizium-Halbleitertechnologie : mit 19 Tabellen und 39 Übungsaufgaben - [4., durchges. und erg. Aufl.]

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Stuttgart; Leipzig; Wiesbaden: Teubner, 2004

Erschienen in: Teubner-Studienbücher ; Elektrotechnik
Xiao, Hong [VerfasserIn]

Introduction to semiconductor manufacturing technology

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Upper Saddle River, N.J [u.a.]: Prentice Hall, c2001
Hilleringmann, Ulrich [VerfasserIn]

Silizium-Halbleitertechnologie - [2., überarb. und erw. Aufl.]

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Stuttgart; Leipzig: Teubner, 1999

Erschienen in: Teubner-Studienbücher ; Elektrotechnik
Hilleringmann, Ulrich [VerfasserIn]

Silizium-Halbleitertechnologie

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Stuttgart: Teubner, 1996

Erschienen in: Teubner-Studienskripten ; 149
Pandey, R. Kumar [VerfasserIn]; Sahu, S. N. [VerfasserIn]; Chandra, Suresh [VerfasserIn] ; Mallick, Suresh Chandra [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Handbook of semiconductor electrodeposition

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New York, NY [u.a.]: Dekker, 1996

Erschienen in: Applied physics ; 5
Pearton, Stephen J. [VerfasserIn]

Wide bandgap semiconductors : growth, processing and applications

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Norwich, NY: Noyes Publ., 2000
Campbell, S. A. [HerausgeberIn]

Semiconductor micromachining

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Chichester; Weinheim [u.a.]: Wiley, 19XX-
Sicard, Etienne [VerfasserIn]; Ben Dhia, Sonia [VerfasserIn]; Delmas Bendhia, Sonia [VerfasserIn]

Basics of CMOS cell design

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New York [u.a.]: McGraw-Hill, 2007
Yoo, Chue San [VerfasserIn] ; Yoo, Chue San [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Semiconductor manufacturing technology

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New Jersey, NJ [u.a.]: World Scientific, 2008

Erschienen in: Advanced series in electrical and computer engineering ; 1300
Sambandan, Sanjiv [VerfasserIn]

Circuit design : techniques for non-crystalline semiconductors

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Boca Raton; London; New York: CRC Press, [2013]
Middleman, Stanley [VerfasserIn]; Hochberg, Arthur K. [VerfasserIn]

Process engineering analysis in semiconductor device fabrication

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New York, NY [u.a.]: McGraw-Hill, 1993

Erschienen in: McGraw-Hill chemical engineering series
Snowden, Christopher M. [HerausgeberIn]

Semiconductor device modelling

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London; Berlin; Heidelberg; New York; Paris; Tokyo: Springer, 1989

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