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Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Prozeßbegleitende Bestimmung von Defektdichten in hochintegrierten Schaltungen - [Als Ms. gedr.]

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1998

Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 280
Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Prozeßbegleitende Bestimmung von Defektdichten in hochintegrierten Schaltungen

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KIT-Bibliothek, Karlsruhe, 1998-01-01
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Comparison of defect size distributions based on electrical and optical measurement procedures

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https://publikationen.bibliothek.kit.edu/126897

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Defect cluster analysis to detect equipment specific yield loss based on yield-to-area calculations

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Defect parameter extraction in backend process steps using a multilayer checkerboard test structure

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Determination of defect size distributions based on electrical measurements at a novel harp test structure

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

A digital tester based measurement methodology for process control in multilevel metallization systems

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Einfluß realistischer Defektformen auf die Größenverteilung von Defekten für die Ausbeutevorhersage

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Harp test structure to electrically determine size distributions of killer defects

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Influence of short circuits on data of contact & via open circuits determined by a novel weave test structure

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Issues on the size and outline of killer defects and their influence on yield modeling

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Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Novel methodology to include all measured size values per defect to improve defect size distribution

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Resistance modelling of test structures for accurate fault detection in backend process steps using a digital tester

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Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Strategy to disentangle multiple faults to identify random defects within test structures

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Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]

Wafer level defect density distribution using checkerboard test structures

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https://publikationen.bibliothek.kit.edu/352398

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]; Bornefeld, R. [VerfasserIn]

Customized checkerboard test structures to localize interconnection point defects

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https://publikationen.bibliothek.kit.edu/126997

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Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]; Bornefeld, R. [VerfasserIn]

Issues on short circuits in large on-chip power MOS-transistors using a modified checkerboard test structure

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https://publikationen.bibliothek.kit.edu/127197

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]; Lau, Günter [VerfasserIn]; Simoneit, Peter [VerfasserIn]

Control of application specific interconnection on gate arrays using an active checkerboard test structure

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https://publikationen.bibliothek.kit.edu/338096

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn]; Lau, Günter [VerfasserIn]; Hiller, Rainer [VerfasserIn]

Correlation between particle defects and electrical faults determined with laser scattering systems and digital measurements on checkerboard test structures

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KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
Weiland, Larg H.

Guest Editorial Special Section on the 2012 International Conference on Microelectronic Test Structures

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Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2013

Erschienen in: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing

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