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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Prozeßbegleitende Bestimmung von Defektdichten in hochintegrierten Schaltungen Weitere Titel: Nebensacht.: Prozeßbegleitende Defektdichtebestimmung Beteiligte: Weiland, Larg H. [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1998 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 280 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: XI, 140 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3183280094 Schlagwörter: VLSI > Mehrebenenverdrahtung > Fehlererkennung > Testmuster > Messwerterfassung > Stichprobe Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1998 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9