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  3. Zschenderlein, Uwe [Verfasser:in] ; Wunderle, Bernhard [Akademische:r Betreuer:in]; Wunderle, Bernhard [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Meyendorf, Norbert [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium

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    Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz; Chemnitz: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2014