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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium
Weitere Titel:
Übers. des Hauptsacht.: Non-destructive Determination of Residual Stress for the Evaluation of Reliability of 3D-integrated Contact Structures in Silicon