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Büttgenbach, Stephanus [VerfasserIn]

Mikromechanik : Einführung in Technologie und Anwendungen - [2., durchges. Aufl.]

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Stuttgart: Teubner, 1994

Erschienen in: Teubner Studienbücher ; Angewandte Physik
Büttgenbach, Stephanus [VerfasserIn]

Mikromechanik : Einführung in Technologie und Anwendungen

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Stuttgart: Teubner, 1991

Erschienen in: Teubner Studienbücher ; Angewandte Physik
Thelemann, Torsten [VerfasserIn] ; Thust, Heiko [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Knedlik, Christian [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Müller, Jens [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Die LTCC-Technologie als Basis von sensorischen, aktorischen und fluidischen Komponenten für Mikrosysteme

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Ilmenau: ISLE, 2006
Lyshevski, Sergey Edward [VerfasserIn]

Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering

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Boca Raton, FL: CRC Press, 2001

Erschienen in: Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
Heuberger, Anton [HerausgeberIn]

Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie - [Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl.]

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Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1991
Motamedi, M. Edward [HerausgeberIn]

MOEMS, Micro-opto-electro-mechanical systems

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Bellingham, Wash.: SPIE Press, 2005
Journal of micromechanics and microengineering : structures, devices and systems

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Bristol: IOP Publ., 1991- / 1.1991 -

Erschienen in: An Institute of Physics journal
Axelrad, David R. [VerfasserIn]

Micromechanics of solids

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Amsterdam [u.a.]: Elsevier [u.a.], 1978
Maluf, Nadim [VerfasserIn]; Williams, Kirt [VerfasserIn]

An introduction to microelectromechanical systems engineering - [2. ed.]

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Boston, Mass. [u.a.]: Artech House, 2004

Erschienen in: Microelectromechanical systems series
Boussey, Jumana [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Microsystems technology : fabrication, test & reliability

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London [u.a.]: Kogan Page Science, 2003
Schaible, Jochen [VerfasserIn]

Mikrotechnisch hergestellte Schaltventile für Gase

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2001
Dvorak, George J. [VerfasserIn]; Dvorak, George [VerfasserIn]

Micromechanics of composite materials

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Dordrecht; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2013

Erschienen in: Solid mechanics and its applications ; 18600
Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 2004-2006, Abschlussbericht 1995 - 2006

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Chemnitz: Tech. Univ., [2006]

Erschienen in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2006,2004-2006

Sächsische Bibliografie
Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 2001/2003

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Chemnitz: Tech. Univ., 2003

Erschienen in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2003,2001/2003

Sächsische Bibliografie
Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 1998/2000

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Chemnitz: Tech. Univ., 2000

Erschienen in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2000,1998/2000

Sächsische Bibliografie
Maluf, Nadim [VerfasserIn]

An introduction to microelectromechanical systems engineering

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Boston [u.a.]: Artech House, 2000

Erschienen in: Artech House microelectromechanical systems library
Banse, Klaus-Dieter [VerfasserIn]

Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik

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1997
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut

Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren : Verbundprojekt 1989 - 1992; Abschlußbericht

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Teltow: VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1994

Erschienen in: Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; 7
Winde, Bertram [VerfasserIn]; Heim, Joachim [VerfasserIn] ; Grube, Rainer [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Technik en miniature : Stippvisite bei der Mikrotechnik - [1. Aufl.]

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Leipzig; Jena; Berlin: Urania-Verl., 1988
Heuberger, Anton [HerausgeberIn]

Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden d. Halbleitertechnologie

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Berlin; Heidelberg; New York; London; Paris; Tokyo: Springer, 1989

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