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  1. Hald, Axel [VerfasserIn] ; Technische Universität Dresden

    Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen - [Als Manuskript gedruckt]

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    Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020] ; Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020]

    Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 20 ; 473

  2. Velten, Thomas [VerfasserIn]; Ihmig, Frank R. [VerfasserIn]; Knoll, Thorsten [VerfasserIn]; Oevermann, Jorge [VerfasserIn]; Weber, Peter [VerfasserIn]; Amelin, Dmitry [VerfasserIn] ; Fraunhofer-Institut für Biomedizinische Technik

    Schlussbericht zum Teilvorhaben: Simulation und Mikroelektroniksysteme für eine akustische Kommunikation zwischen implantierbaren Systemen des Verbundprojektes: I-Call - Mikroelektromechanisches System zur akustischen Kommunikation zwischen Implantaten : Laufzeit: 01.01.2018-30.06.2021

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    Sulzbach/Saar: Fraunhofer IBMT, Dezember 2021

  3. Brückner, Bent W. [VerfasserIn]

    Neue Methodik zur Modellierung und zum Entwurf keramischer Aktorelemente

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    Karlsruhe: KIT Scientific Publishing, 2012

    Erschienen in: Institut für Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik - Automatisierungstechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 44

  4. Dorwarth, Markus [VerfasserIn] ; Technische Universität Chemnitz

    Mikromechanische Drehratensensoren: Simulation mechanischer Nichtlinearitäten sowie des Einflusses der Aufbau- und Verbindungstechnik

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    Chemnitz, 07. Januar 2020

  5. Sang, Shengbo [VerfasserIn] ; Witte, Hartmut [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Liefeith, Klaus [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Doll, Theodor [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    An approach to the design of surface stress-based PDMS micro-membrane biosensors : concept, numerical simulations and prototypes : Konzept, numerische Simulation und Prototypenbau = PDMS-Mikro-Membran-Biosensoren auf Basis der Analyse von Oberflächenspannungen

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    2010 ; 2011

  6. Kuipers, Winfred J. [VerfasserIn]; Gevers, Martin [VerfasserIn]; Förster, Jan [VerfasserIn]; Tebrügge, Jan [VerfasserIn]; Musch, Thomas [VerfasserIn]; Westerdick, Sephan [VerfasserIn]; Hermanns, Patrick [VerfasserIn]; Fricke, Florian [VerfasserIn]; Tulke, Albert [VerfasserIn]; Lehnig, Rudolf [VerfasserIn] ; KROHNE Innovation GmbH, Ruhr-Universität Bochum, Bayer AG, BASF SE

    Verbundprojekt: Mikromassenspektrometer zur Energieeffizienzsteigerung in der chemischen Prozessindustrie (MiMEP); Teilvorhaben: Gerätekonzept und Systemintegration (KROHNE); Teilvorhaben: Entwicklung prozessgerechtes MEMS (RUB); Teilvorhaben: Prozessanforderungen und Simulation (BAYER); Teilvorhaben: Feldtest zur Untersuchung der Prozesstauglichkeit (BASF) : Schlussbericht zu Nr. 8.2 : Laufzeit des Vorhabens: 01.09.2015-30.06.2020 bzw. 31.08.2020 für Ruhr-Universität Bochum : Berichtszeitraum: 01.09.2015-30.06.2020 bzw. 31.08.2020

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    [Duisburg]: [KROHNE Innovation GmbH], 09.12.2020