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> Detailanzeige
Hald, Axel
[Verfasser:in]
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Technische Universität Dresden
[Grad-verleihende Institution]
Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen
- [Als Manuskript gedruckt]
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- Medientyp: Buch; Hochschulschrift
- Titel: Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen
- Beteiligte: Hald, Axel [Verfasser:in]
- Körperschaft: Technische Universität Dresden [Grad-verleihende Institution]
-
Erschienen:
Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020]
Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020]
- Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 473
- Ausgabe: Als Manuskript gedruckt
- Umfang: VIII, 152 Seiten; Illustrationen, Diagramme
- Sprache: Deutsch
- ISBN: 9783183473205
-
RVK-Notation:
ZN 3750 : Mikrosystemtechnik
-
Schlagwörter:
MEMS
>
Kapazitiver Sensor
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Beschleunigungssensor
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Drehratensensor
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Schaltungsentwurf
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Elektrostatik
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Parasitäres Element
>
Prozesssimulation
>
Ersatzschaltbild
>
Mustererkennung
- Entstehung:
-
Hochschulschrift:
Dissertation, Technische Universität Dresden, 2020
-
Anmerkungen:
Sprache der Kurzfassung: Deutsch, Englisch
> Exemplare
(0)
Signatur:
SS 5631-473
Barcode:
33409785
- Status: Ausleihbar
Signatur:
2020 8 010314
Barcode:
33409783
- Status: Ausleihbar, bitte bestellen
-
> Bestellen möglich - bitte anmelden
Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.
Signatur:
2020 8 010315
Barcode:
33409784
- Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung
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Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung