Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen
Beteiligte: Hald, Axel [VerfasserIn]
Körperschaft: Technische Universität Dresden
Erschienen: Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020]
Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020]
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 20 ; 473
Ausgabe: Als Manuskript gedruckt
Umfang: VIII, 152 Seiten; Illustrationen, Diagramme
Sprache: Deutsch
ISBN: 9783183473205; 3183473208
Entstehung:
RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik
Schlagwörter: MEMS > Kapazitiver Sensor > Beschleunigungssensor > Drehratensensor > Schaltungsentwurf > Elektrostatik > Parasitäres Element > Prozesssimulation > Ersatzschaltbild > Mustererkennung
Anmerkungen: Sprache der Kurzfassung: Deutsch, Englisch
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschritt-Berichte VDI / 20

Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen - [Als Manuskript gedruckt]