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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen Beteiligte: Hald, Axel [VerfasserIn] Körperschaft: Technische Universität Dresden Erschienen: Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020] Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020] Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 20 ; 473 Ausgabe: Als Manuskript gedruckt Umfang: VIII, 152 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch ISBN: 9783183473205; 3183473208 Entstehung: RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: MEMS > Kapazitiver Sensor > Beschleunigungssensor > Drehratensensor > Schaltungsentwurf > Elektrostatik > Parasitäres Element > Prozesssimulation > Ersatzschaltbild > Mustererkennung Anmerkungen: Sprache der Kurzfassung: Deutsch, Englisch Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschritt-Berichte VDI / 20
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2020 8 010314 Barcode: 33409783 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 2020 8 010315 Barcode: 33409784 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden