Zum Inhalt springen Reinicke, Marco [VerfasserIn] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009 Reinicke, Marco [VerfasserIn] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Bücher Online ansehen Schließen > Zugang https://d-nb.info/1008186929/34 Zugang und weitere Informationen zur Ressource (kostenfrei) Zeige weitere weniger zeigen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Reinicke, Marco [VerfasserIn] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009
> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Reinicke, Marco [VerfasserIn] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Bücher Online ansehen Schließen > Zugang https://d-nb.info/1008186929/34 Zugang und weitere Informationen zur Ressource (kostenfrei) Zeige weitere weniger zeigen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
> Zugang https://d-nb.info/1008186929/34 Zugang und weitere Informationen zur Ressource (kostenfrei) Zeige weitere weniger zeigen
> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (1) Wert ausschließen Magazinbestellung (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Zentralbibliothek (1) Wert ausschließen Bereichsbibliothek DrePunct (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Reinicke, Marco (2) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Kollektion Skip to next facet Diss online (1) Wert ausschließen Verbunddaten SWB (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen