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  1. Gesellschaft Feinwerktechnik, Verein Deutscher Ingenieure, Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine

    Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht

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    Düsseldorf: VDI-Verl., 1985-1989 / Nachgewiesen 1984(1985) - 1989