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  1. Mathad, G. S. [Editor] ; Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division, Electrochemical Society Electronics Division, Symposium on Plasma Processing 10 1994 San Francisco, Calif

    Proceedings of the Tenth Symposium on Plasma Processing : [held at San Francisco, CA, May 22 - 27, 1994]

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    Pennington, NJ: Electrochemical Society, 1994

    Published in: Electrochemical Society: Proceedings volume ; 94,20

  2. Manos, Dennis M. [Editor]; Flamm, Daniel L. [Editor]

    Plasma etching : an introduction

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    Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989

    Published in: Plasma ; materials interactions

  3. Eichhorn, Friedrich [Editor] ; Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen Institut für Schweisstechnische Fertigungsverfahren, Kolloquium Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweisstechnik 2 1971 Aachen

    Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweißtechnik : Vorträge des II. Kolloquiums "Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweißtechnik" in Aachen vom 14. bis 15. Oktober 1971

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    Düsseldorf: Dt. Verl. für Schweißtechnik, 1972

    Published in: Deutscher Verband für Schweißtechnik: DVS-Berichte ; 23

  4. Eichhorn, Friedrich [Other] ; Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen Institut für Schweisstechnische Fertigungsverfahren, Kolloquium Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweisstechnik 1 1969 Aachen

    Der Plasmastrahl in der Schweißtechnik : Vorträge des Kolloquiums Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweißtechnik in Aachen 1969

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    Düsseldorf: Deutscher Verlag f. Schweisstechnik, DVS, 1970

    Published in: Deutscher Verband für Schweißtechnik: DVS-Berichte ; 14

  5. Cheung, Kin P. [Author]

    Plasma charging damage

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    London; Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, c 2001

  6. Poll, Hans-Ullrich [Other] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente

    Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung

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    Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985

    Published in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4