Media type: Book; Thesis Title: Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat Contributor: Hilleringmann, Ulrich [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1988 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 82 Extent: 147 S; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3181482099 Keywords: CMOS-Schaltung > SOI-Technik > Dreidimensionale Integration > Rekristallisation Origination: University thesis: Zugl.: Diss. Footnote: Literaturverz. S. 133 - 146
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