Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat

Literatur-
verwaltung

Direktlink

Zur
Merkliste

Lösche von
Merkliste

Per Email teilen

Auf Twitter teilen

Auf Facebook teilen

Per Whatsapp teilen

Schließen

Merkliste

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
Beteiligte: Hilleringmann, Ulrich [Verfasser:in]
Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1988
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 82
Umfang: 147 S; Ill., graph. Darst
Sprache: Deutsch
ISBN: 3181482099
Schlagwörter: CMOS-Schaltung > SOI-Technik > Dreidimensionale Integration > Rekristallisation
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Diss.
Anmerkungen: Literaturverz. S. 133 - 146
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschrittberichte VDI / 9

(0)

Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.

Bereitstellung voraussichtlich: 4 - 7 Tage nach Bestellung