Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat

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Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
Beteiligte: Hilleringmann, Ulrich [VerfasserIn]
Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1988
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 82
Umfang: 147 S; Ill., graph. Darst
Sprache: Deutsch
ISBN: 3181482099
Schlagwörter: CMOS-Schaltung > SOI-Technik > Dreidimensionale Integration > Rekristallisation
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Diss.
Anmerkungen: Literaturverz. S. 133 - 146
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschrittberichte VDI / 9

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