Media type: Book; Thesis Title: Entwicklung eines neuartigen BICMOS-Prozesses unter wesentlicher Nutzung der Hochenergie-Ionenimplantation Other titles: Nebent.: BICMOS mit MeV-Ionenimplantation Contributor: Harms, Torsten [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 110 Issue: Als Ms. gedr. Extent: IV, 179 S; graph. Darst Language: German ISBN: 3181410098 Keywords: BICMOS > Ionenimplantation Origination: University thesis: Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1990 Footnote: Literaturverz. S. 171 - 179
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-110 Item ID: 10065078 Status: Loanable