Media type: Book; Thesis Title: Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen Contributor: Korzec, Dariusz [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verlag, 1993 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 160 Issue: Als Ms. gedr. Extent: XVIII, 182 S; graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3181460095 RVK notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Keywords: Ionenstrahlätzen > Hochfrequenzionenquelle Hochfrequenzionenquelle > Ionenstrahlätzen Origination: University thesis: Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss. Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-160 Item ID: 32891366 Status: Loanable