Media type: Book Title: Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen Contributor: Vogt, Holger [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 167 Issue: Als Ms. gedr Extent: V, 155 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 318146709X RVK notation: ZN 4950 : Schaltungen der Grossintegration (LSI) Keywords: LSI > Mehrschichtschaltung > CMOS > Metallisieren Origination: Footnote: Literaturverz. S. 139 - 155
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-167 Item ID: 32891368 Status: Loanable