Media type: Book; Thesis Title: Zuverlässigkeitsaspekte von polykristlinem Silizium und deren Einfluss auf die Funktion von Inertialsensoren Contributor: Friedrich, Thomas [Author] imprint: 2011 Published in: Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM: Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik / W ; 2011,5 Extent: II, 130 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German RVK notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Keywords: Silicium > Polykristall > Mikromechanik > Beschichtung > Plastische Deformation > Adhäsion Origination: University thesis: Zugl.: Halle (Saale), Univ., Diss., 2011 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3750 F911 Item ID: 33098951 Status: Loanable