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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Zuverlässigkeitsaspekte von polykristlinem Silizium und deren Einfluss auf die Funktion von Inertialsensoren Beteiligte: Friedrich, Thomas [Verfasser:in] Erschienen: 2011 Erschienen in: Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM: Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik / W ; 2011,5 Umfang: II, 130 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: Silicium > Polykristall > Mikromechanik > Beschichtung > Plastische Deformation > Adhäsion Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Halle (Saale), Univ., Diss., 2011 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik <Freiburg, Breisgau>: Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik / W