Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

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Media type: Book; Thesis
Title: Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Contributor: Pötschick, Pierre [Author]
Published: Dresden: TUDpress, Verl. der Wiss., 2015
Published in: Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 57
Extent: XVII, 122 S.; mit 11 Farbseiten und weiteren s/w Abb. und Graf
Language: German
ISBN: 395908014X; 9783959080149
RVK notation: ZN 4174 : CVD
Keywords: Silicium > Amorpher Halbleiter > Dünne Schicht > PECVD-Verfahren > Magnetronsputtern
Origination:
University thesis: Zugl.: Techn. Univ. Dresden, Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2014
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