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Pötschick, Pierre [VerfasserIn]

Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

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  • Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
  • Beteiligte: Pötschick, Pierre [VerfasserIn]
  • Erschienen: Dresden: TUDpress, Verl. der Wiss., 2015
  • Erschienen in: Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 57
  • Umfang: XVII, 122 S.; mit 11 Farbseiten und weiteren s/w Abb. und Graf
  • Sprache: Deutsch
  • ISBN: 395908014X; 9783959080149
  • RVK-Notation: ZN 4174 : CVD
  • Schlagwörter: Silicium > Amorpher Halbleiter > Dünne Schicht > PECVD-Verfahren > Magnetronsputtern
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Zugl.: Techn. Univ. Dresden, Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2014
  • Anmerkungen:
  • Weitere Bestandsnachweise
    0 : Dresdner Beiträge zur Sensorik

Exemplare

(0)

Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand

  • Status: Ausleihbar

Zentralbibliothek – Magazin

  • Signatur: 2016 8 001184
  • Barcode: 34120323
  • Status: Ausleihbar, bitte bestellen
Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.

Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin

  • Signatur: 2016 8 001186
  • Barcode: 34120324
  • Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung
Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung