Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

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Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Beteiligte: Pötschick, Pierre [Verfasser:in]
Erschienen: Dresden: TUDpress, Verl. der Wiss., 2015
Erschienen in: Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 57
Umfang: XVII, 122 S.; mit 11 Farbseiten und weiteren s/w Abb. und Graf
Sprache: Deutsch
ISBN: 395908014X; 9783959080149
RVK-Notation: ZN 4174 : CVD
Schlagwörter: Silicium > Amorpher Halbleiter > Dünne Schicht > PECVD-Verfahren > Magnetronsputtern
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Techn. Univ. Dresden, Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2014
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