Media type: Book; Thesis Title: Integration von Nanostrukturen durch alternative Methoden : Mizellen-Deposition, Template-Wachstum und Nanogaps Contributor: Kronholz, Stephan [Author] imprint: Jülich: Forschungszentrum GmbH, Zentralbibliothek, 2007 Published in: Forschungszentrum Jülich: Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Informationstechnik ; 15 Extent: IX, 164 Bl; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 9783893364787 RVK notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) Keywords: Speicher > Integriertes Bauelement > Nanostruktur > Diblockcopolymere > Micelle > Maske > Elektronenstrahllithografie Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 Footnote:
Departmental Library DrePunct – stack Shelf-mark: 2007 8 034828 Item ID: 31615831 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in