Media type: Book Title: Low dielectric constant materials for IC applications Contributor: Ho, Paul S. [Hrsg.] imprint: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003 Published in: Advanced microelectronics ; 9 Physics and astronomy online library Extent: XIX, 309 S.; Ill., graph. Darst Language: English ISBN: 3540678190 RVK notation: ZN 3400 : Allgemeines UP 3100 : Halbleitermaterialien, Allgemeines UP 4600 : Dielektrische Eigenschaften, Dielektrika, Isolatoren Keywords: Integrierte Schaltung > Werkstoff > Dielektrische Eigenschaft Integrierte Schaltung > Werkstoff > Dielektrische Eigenschaft > Aufsatzsammlung Origination: Footnote: Literaturangaben
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3400 H678 Item ID: 31662234 Status: Loanable