Media type: Book; Thesis Title: Excimerlasergestützte Technologien für die Mikroelektronik Contains: Literaturverz. S. 125 - 140 Contributor: Spieß, Walter [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1989 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 96 Issue: Als Ms. gedr. Extent: III, 142 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 318149609X Keywords: Halbleitertechnologie > Excimerlaser Origination: University thesis: Zugl.: Darmstadt, TH, Diss. Footnote:
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