Media type: E-Book; Thesis Title: Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid-Schichten und deren Modifikation durch Ionenimplantation Contributor: Chiang, Chung-I [VerfasserIn] imprint: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5644 Extent: 1 Online-Ressource (254 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/54995 Identifier: Keywords: Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe (TH), 1995 Footnote: Access State: Open Access