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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid-Schichten und deren Modifikation durch Ionenimplantation Beteiligte: Chiang, Chung-I [Verfasser:in] Erschienen: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017] Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5644 Umfang: 1 Online-Ressource (254 Seiten); Illustrationen Sprache: Deutsch DOI: 10.5445/IR/54995 Identifikator: Schlagwörter: Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Universität Karlsruhe (TH), 1995 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang