Media type: E-Book; Thesis Title: Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung Contributor: Both, Alexander B. [VerfasserIn]; Bacher, Walter [VerfasserIn]; Heckele, Mathias [VerfasserIn]; Ruprecht, Robert [VerfasserIn] imprint: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5671 Extent: 1 Online-Ressource (III, 103 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/26695 Identifier: Keywords: LIGA-Verfahren Origination: University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe, 1995 (für Alexander B. Both anerkannt) Footnote: Access State: Open Access