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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung Beteiligte: Both, Alexander B. [Verfasser:in]; Bacher, Walter [Verfasser:in]; Heckele, Mathias [Verfasser:in]; Ruprecht, Robert [Verfasser:in] Erschienen: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017] Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5671 Umfang: 1 Online-Ressource (III, 103 Seiten); Illustrationen Sprache: Deutsch DOI: 10.5445/IR/26695 Identifikator: Schlagwörter: LIGA-Verfahren Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Universität Karlsruhe, 1995 (für Alexander B. Both anerkannt) Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang