Media type: E-Book; Thesis Title: Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom Contributor: Köhler, Uwe [Author]; Guber, Andreas E. [Author]; Bier, Wilhelm [Author] Published: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5574 Extent: 1 Online-Ressource (52 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/270037285 Identifier: Keywords: Trockenätzen > Silicium > Ätzmittel > Halogene Origination: University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe, 1995 (für Uwe Köhler anerkannt) Footnote: Access State: Open Access